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웨이퍼의 미립자 오염을 감소시키는 웨이퍼 운반 포드

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기관명	NDSL
출원인	타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
출원번호	10-2016-0084364
출원일자	2016-07-04
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 제조 공정 중에 반도체 웨이퍼를 저장 또는 운반하는 웨이퍼 운반 포드로서, 본체를 포함하고, 상기 본체는, 상부 패널, 바닥 패널, 후방 패널, 웨이퍼 운반 포드 내외로 반도체 웨이퍼의 입구 및 출구를 제공하는 전방 패널, 및 상기 반도체 웨이퍼를 수용하는 2개의 측면 패널을 포함한다.2개의 측면 패널은 본체의 내측에 복수 개의 개별 밀봉된 격벽을 가지며, 밀봉된 격벽들 중 임의의 2개의 격벽은 웨이퍼를 내부에 밀봉하여 웨이퍼의 오염을 방지하고, 복수 개의 밀봉된 격벽은 각각 웨이퍼를 위치 결정한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160084364
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