| 초록 |
물리 기상 증착 반응기는 측벽, 천장 및 진공 챔버의 플로어 부근에 위치한 웨이퍼 지지 페디스털을 포함하는 진공 챔버, 이 진공 챔버에 커플링된 공정 가스 입구, 및 이 공정 가스 입구에 커플링된 공정 가스 소스를 포함한다.금속 스퍼터링 타깃은 천장에 위치하며, 이 금속 스퍼터링 타깃에는 고전압 DC 소스가 커플링된다.금속 스퍼터링 타깃에는 RF 플라즈마 소스 파워 제너레이터가 커플링되는데, 이 RF 플라즈마 소스 파워 제너레이터는 운동 전자를 여기시키는데 적합한 주파수를 갖는다.바람직하게, 웨이퍼 지지 페디스털이 정전 척을 포함하며, RF 플라즈마 바이어스 파워 제너레이터는 플라즈마 이온에 에너지를 커플링시키는데 적합한 주파수를 갖는 웨이퍼 지지 페디스털에 커플링된다.바람직하게, 약 0.5 인치를 초과하는 직경을 갖는 고체 금속 RF 공급 로드가 금속 스퍼터링 타깃과 맞물리며, RF 공급 로드는 천장을 통해 금속 스퍼터링 타깃 위로 축방향으로 연장되고 RF 플라즈마 소스 파워 제너레이터에 커플링된다. |
