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구조체의 전자기 산란 특성들을 계산하고 근사 구조체들을 재구성하는 장치 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7009412
출원일자	2016-04-08
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	구조체의 전자기 산란 특성들을 계산하는 방법이 제공되며, 상기 구조체는 상이한 특성들의 재료들을 포함하고, 상기 구조체는 적어도 하나의 측 방향으로 주기적이며, 수직 방향으로 연장되고, 상기 방법은: 복수의 모드들 모두에 대해 직교 방향으로의 동일한 샘플 지점들을 이용하여 1D 그린 함수를 곱한 수직 방향으로 의사-스펙트럼 다항식(체비셰프) 전개의 적분을 각각의 모드에 대해 수행함으로써(1350), 적어도 하나의 측 방향으로 복수의 모드들에 대한 전자기 산란에 대한 체적 적분 방정식을 수치적으로 해결하는 단계를 포함한다.적분은 정규화 체비셰프 전개 계수 벡터( γ )의 값들을 연산하기 위해(1118) 제 1 및 제 2 이산 변환 단계들(1116 및 1120) 사이에 방정식들의 정규화 선형 시스템을 해결함으로써 수행된다.구조체의 전자기 산란 특성들은 수치적 해의 결과들을 이용하여 계산된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009412
첨부파일

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