| 초록 |
조명 시스템(30)은 콜렉터(31)에 의해 수집되는 EUV 조명 광(14)을 오브젝트 필드(5)로 가이드하는 조명 광학기기(4)를 구비한다. 조명 광학기기는 필드 패싯 미러(17)와 동공 패싯 미러(20)를 구비한다. 동공 패싯(34)은 상기 오브젝트 필드(5)에서 서로 중첩되는 방식으로 필드 패싯(32)을 이미징하는 전송 광학기기의 일부이다. 상기 콜렉터(31)는 복사선 소스 구역(3)을 그 다운스트림에 배치된 중간 초점 구역(25)으로 이미징한다. 상기 중간 초점 구역은 상기 복사선 소스 구역(3)의 제1 이미지를 그 다운스트림에 배치된 빔 경로에 구성한다. 상기 다운스트림 초점 구역(25)과 일치하지 않는 축소 구역(37)은 상기 콜렉터(31)와 상기 조명 광학기기(4)의 제1 부품(17) 사이에 위치된다. 여기서, 상기 EUV 조명 광(14)의 전체 빔의 단면은 필드 패싯 미러(17)의 단면에 비해 적어도 2의 인수만큼 감소된다. 그 결과 상기 EUV 조명 광을 조명 필드로 효율적으로 전송하는 조명 시스템이 보장된다. |
