EUV 리소그래피용 반사 광학 소자 및 광학계
기관명 | NDSL |
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출원인 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 |
출원번호 | 10-2013-7033157 |
출원일자 | 2013-12-13 |
공개번호 | 20140417 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 특히 EUV 리소그래피 장치 내부에서 반사 광학 소자의 수명에 대한 반응성 수소의 부정적 영향을 감소시키기 위해, 다층 시스템(51)을 갖는 반사면을 갖는 반사 광학 소자(50)가 극자외선 및 소프트 X선 파장 영역에 제공되고, 이 경우에 반사면(60)은 탄화규소 또는 루테늄으로 구성된 최상층(56)을 갖는 보호층 시스템(59)을 가지며, 상기 보호층 시스템(59)은 5nm 내지 25nm의 두께를 갖는다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020137033157 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | G02B-001/10,G02B-005/08,G02B-027/00,G02B-019/00,G03F-007/20 |
주제어 (키워드) |