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특허/실용신안
금속 유기물 화학 기상 증착장치 및 이를 위한 온도제어방법
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 엘아이지인베니아 주식회사 |
| 출원번호 | 10-2014-7010752 |
| 출원일자 | 2014-04-22 |
| 공개번호 | 20140515 |
| 공개일자 | 2015-06-22 |
| 등록번호 | 10-1530642-0000 |
| 등록일자 | 2015-06-16 |
| 권리구분 | KPTN |
| 초록 | 본 발명에 따른 금속 유기물 화학 기상 증착장치 및 이를 위한 온도제어방법은 챔버; 상기 챔버 내부에 회전 가능하게 설치되며 적어도 하나 이상의 기판이 안착되는 서셉터; 상기 서셉터를 가열하며 독립적으로 온도가 제어되는 복수개의 히터; 상기 서셉터 상부에 위치하여 상기 서셉터 측으로 3족과 5족 가스를 분사하는 가스 분사부; 상기 서셉터 상부에 위치하며 상기 각각의 히터에 의하여 가열되는 가열영역의 온도를 측정하는 복수개의 온도 감지센서; 상기 가열영역에 요구되는 온도 셋팅값을 보유하고, 상기 각각의 온도 감지센서에서 감지한 상기 감지 온도값과 상기 가열영역에 요구되는 셋팅값을 비교하여 상기 가열영역의 온도를 제어하는 제어부를 구비하는 것으로, 본 발명에 따른 금속 유기물 화학 기상 증착장치 및 이를 위한 온도제어방법은 상온 ∼ 섭씨 1200도까지 온도가 변화하면서 공정을 수행하는 금속 유기물 화학 기상 증착장치에서 에피텍셜 공정마다 필요한 온도 조건을 효과적으로 조절하도록 하여 공정 수행중 필요한 온도 램핑이 전체 기판들에 고르게 이루어지도록 하여 증착 균일성의 향상과 공정 효율을 향상시키도록 하는 효과가 있다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020147010752 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | H01L-021/205,H01L-021/02,H01L-021/324,H01L-021/683 |
| 주제어 (키워드) |