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성막 장치 및 성막 기판 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤
출원번호	10-2015-0136515
출원일자	2015-09-25
공개번호	20160414
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	워크의 형상에 관계없이, 고속으로 효율적으로 균일한 두께로 성막할 수 있고, 소형이고 공간 절약인 성막 장치 및 성막 기판 제조 방법을 제공한다. 스퍼터 가스(G1)가 도입되는 챔버(2)와, 챔버(2) 내에 설치되어, 워크(W)를 순환 반송하는 반송로(P)를 갖는 반송부(3)와, 워크(W)에 퇴적되어 막이 되는 성막 재료에 의해서 형성되고 반송로(P)에 이격하여 대향하는 위치에 설치된 타겟(41)과, 타겟(41)에 전력을 인가함으로써 스퍼터 가스(G1)를 플라즈마화시켜, 성막 재료를 워크(W)에 퇴적시키는 제1 전원부(5)와, 성막 재료가 퇴적하는 영역인 성막 영역(F)을 반송부(P)에 의해서 워크(W)가 통과하는 동안에, 워크(W)의 타겟(41)에 대한 위치의 변화에 따라서 제1 전원부(5)가 타겟(41)에 인가하는 전력을 변화시키는 전원 제어부(91)를 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150136515
첨부파일

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