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주입 시스템에서 이온 빔 품질을 개선하는 방법

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기관명	NDSL
출원인	베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
출원번호	10-2016-7003947
출원일자	2016-02-16
공개번호	20160404
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	이온 주입기에서 이온 빔 품질을 개선하기 위한 방법이 개시된다. 일부 이온 주입 시스템들에 있어, 이온 소스로부터의 오염물질들이 희망되는 이온들과 함께 추출되며, 이는 작업물에 오염물질들을 도입한다. 이러한 오염물질들은 이온 소스 챔버 내의 불순물들일 수 있다. 이러한 문제는 추출된 이온 빔의 질량 분석이 수행되지 않을 때 악화되며, 희망되는 공급가스가 할로겐을 포함할 때 더 악화된다. 이온 챔버 내의 희석 가스의 도입이 챔버의 내부 표면들에 대한 할로겐의 유해한 영향을 감소시킬 수 있으며, 이는 추출되는 이온 빔의 오염물질들을 감소시킨다. 일부 실시예들에 있어, 희석 가스는 게르만 또는 실란일 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167003947
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