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기판 처리 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 스크린 홀딩스
출원번호	10-2016-0017871
출원일자	2016-02-16
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판 처리 장치는, 제 1 유체를 포함하는 처리 유체를 사용한 처리를 기판에 실시하기 위한 기판 처리 장치로서, 기판을 유지하기 위한 기판 유지 유닛과, 제 1 유체가 유통하기 위한 제 1 유로가 내부에 형성된 제 1 통체를 갖고, 상기 제 1 통체의 선단 가장자리가, 상기 기판의 주면과의 사이에서, 상기 제 1 유로를 흐르는 유체를 상기 기판의 상기 주면을 따라 방사상으로 토출하기 위한 환상의 제 1 토출구를 구획하는 노즐과, 상기 노즐을 지지하기 위한 지지 부재와, 상기 노즐을 상기 기판의 상기 주면의 법선 방향을 따른 상대 변위가 가능한 상태로 상기 지지 부재에 유지시키는 노즐 유지 유닛과, 상기 노즐의 상기 제 1 유로에 제 1 유체를 공급하는 유체 공급 유닛으로서, 상기 제 1 토출구로부터의 제 1 유체의 토출에 의해, 상기 기판의 상기 주면으로부터 이반되는 방향의 힘을 상기 노즐에 작용시키는 제 1 유체 공급 유닛을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160017871
첨부파일

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