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투영 광학계, 노광 장치 및 노광 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7021281
출원일자	2016-08-03
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	색수차나 상면 만곡 등의 여러 가지 수차가 양호하게 보정되어 우수한 결상 성능을 갖고, 광학면에서의 반사 손실을 양호하게 억제하여 큰 실효적인 상측 개구수를 확보할 수 있는 비교적 소형의 투영 광학계로서, 제 1 면(R)의 축소 상을 제 2 면(W)상에 형성하는 반사 굴절형의 투영 광학계.적어도 2매의 반사경(CM1, CM2)과, 제 1 면측의 면이 정의 굴절력을 갖는 경계 렌즈(Lb)를 포함하고, 경계 렌즈와 제 2 면 사이의 광로는 1.1보다도 큰 굴절률을 갖는 매질(Lm)로 충전되어 있다.투영 광학계를 구성하는 모든 투과 부재 및 굴절력을 갖는 모든 반사 부재는 단일의 광축(AX)을 따라 배치되고, 광축을 포함하지 않는 소정 형상의 유효 결상 영역을 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021281
첨부파일

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