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반도체 장치, 그 반도체 장치의 제작 방법 및 그 반도체 장치를 가지는 전자기기

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
출원번호	10-2016-0098808
출원일자	2016-08-03
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	산화물 반도체층을 사용한 박막 트랜지스터에 있어서, 산화물 반도체층과 게이트 절연층의 사이에, 상기 산화물 반도체층보다 도전율이 높은 산화물 클러스터를 형성함으로써, 상기 박막 트랜지스터의 전계 효과 이동도를 향상시키고, 또한 오프 전류의 증대를 억제할 수 있다. [색인어] 반도체 장치, 산화물 반도체층, 박막 트랜지스터, 전계 효과 이동도.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160098808
첨부파일

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