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용융물 정제 및 배송 시스템

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기관명	NDSL
출원인	베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
출원번호	10-2016-7021258
출원일자	2016-08-03
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	용융물을 정제하기 위한 장치가 개시된다. 챔버 내의 용융물의 제 1 부분은 제 1 방향으로 응고된다. 제 1 부분의 일부는 제 1 방향으로 용융된다. 용융물의 제 2 부분은 응고된 상태로 남아 있다. 용융물은 챔버로부터 흐르고, 제 2 부분은 챔버로부터 제거된다. 응고는 용융물 및 제 2 부분에서 용질들을 응축시킨다. 제 2 부분은 높은 용질 농도를 갖는 슬러그(slug)일 수 있다. 이 시스템은 예를 들어, 펌프들, 필터들, 또는 입자 트랩들과 같은 다른 부품들과 함께 시트 형성 장치에 통합될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021258
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