| 기업공감원스톱서비스

증착 배열체, 증착 장치 및 그의 동작 방법들

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7018037
출원일자	2016-07-05
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	알칼리 금속 또는 알칼리 토금속을 포함하는 재료의 증발을 위한 그리고 기판 상에서의 재료의 증착을 위한 증착 배열체가 설명된다.증착 배열체는 재료를 액화하도록 구성된 제 1 챔버 ― 제 1 챔버는 제 1 챔버에서의 가스의 유입구로 구성된 가스 유입구를 포함함 ―, 액화된 재료를 증발시키도록 구성된 증발 구역, 액화된 재료를 위한, 제 1 챔버와 증발 구역 사이의 유체 연통을 제공하는 라인 ― 라인은, 라인의 유동 저항을 정의하는 제 1 부분을 포함함 ―, 상기 유동 저항을 갖는 라인을 통하는 액화된 재료의 유량을 제어하기 위해 제 1 챔버에서의 가스의 유량을 제어하도록 구성된 밸브, 및 증발된 재료를 기판을 향하여 지향시키기 위한 하나 또는 그 초과의 배출구들을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018037
첨부파일

기업조회