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방사선 소스, 계측 장치, 리소그래피 시스템 및 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7018014
출원일자	2016-07-05
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	방사선 소스 장치는, 플라즈마 방출 방사선(plasma emitted radiation)을 방출하는 플라즈마가 드라이빙 방사선(50)에 의한 기체 매질의 여기(excitation of gaseous medium)에 후속하여 발생되는, 기체 매질로 가압되는 컨테이너를 포함하며, 이 컨테이너는 플라즈마 방출 방사선이 출력 방사선으로서 컨테이너를 빠져나오기 전에 플라즈마 방출 방사선으로부터 10-400nm의 파장을 갖는 방사선을 실질적으로 제거(66, 67)하도록 동작할 수 있다.컨테이너는, 드라이빙 방사선을 컨테이너 외측으로부터 컨테이너 내측으로 투과시키도록 동작할 수 있는 인렛 방사선 투과 요소(64)와, 플라즈마 방출 방사선의 적어도 일부를 컨테이너 내측으로부터 컨테이너 외측으로 출력 방사선으로서 투과시키도록 동작할 수 있는 아울렛 방사선 투과 요소(65)를 포함하며, 인렛 방사선 투과 요소와 아울렛 방사선 투과 요소 중의 하나 이상이 평행 평면 플레이트를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018014
첨부파일

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