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과립상 폴리실리콘의 제조 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	와커 헤미 아게
출원번호	10-2016-7018024
출원일자	2016-07-05
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 가열 장치에 의하여 850-1100℃의 온도로 가열되는 유동층 내에서 기체 흐름에 의하여 실리콘 입자를 유동화하는 단계, 실리콘-함유 반응 기체를 첨가하고 상기 실리콘 입자 상에 실리콘을 증착하는 단계, 상기 반응기로부터 생산되는 과립상 폴리실리콘을 제거하고 상기 과립상 폴리실리콘을 패키징하는 단계를 포함하는, 유동층 반응기 내에서 과립상 폴리실리콘을 제조하는 방법에 관한 것이다. 상기 반응기로부터 과립상 폴리실리콘의 제거로부터 상기 과립상 폴리실리콘의 패키징 사이에, 상기 과립상 폴리실리콘은 코어 플로우를 위하여 설계되는 컨테이너들에 의하여 하나의 컨테이너로부터 다른 것으로 여러 번 이송된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018024
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