| 기업공감원스톱서비스

기판 전하 중성화를 위한 핀치된 플라즈마 브리지 플러드 건

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
출원번호	10-2016-7013402
출원일자	2016-05-20
공개번호	20160707
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	이온 주입 시스템에 대한 플라즈마 루프 어셈블리는, 절연 블록 부분 및 절연 블록 부분의 대향하는 면들 상에 배치된 제 1 및 제 2 전도성 블록 부분들을 포함한다. 전도성 스트랩들은 제 1 및 제 2 전도성 블록 부분들 사이에 결합된다. 전도성 블록 부분들 및 중심 몸체 부분은 폐쇄형 루프 플라즈마 챔버를 형성하는 리세스들을 포함한다. 전원은 플라즈마를 생성하기 위해 가스 물질을 여기시키기 위하여 라디오 주파수 전력을 폐쇄형 루프 플라즈마 챔버 내로 유도적으로 결합하기 위해 전도성 블록 부분들에 결합된다. 제 2 전도성 블록 부분 내의 개별적인 리세스는, 핀치 영역에 바로 인접한 폐쇄형 루프 플라즈마 챔버의 일 부분의 단면 면적보다 더 작은 단면 치수를 갖는 핀치 영역을 포함한다. 핀치 영역은 제 2 전도성 블록 부분 내에 형성된 출구 부분에 바로 인접하여 위치될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013402
첨부파일

기업조회