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박막 공진기의 제조 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	지티이 코포레이션
출원번호	10-2016-7013377
출원일자	2016-05-20
공개번호	20160623
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 박막 공진기의 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 제조 방법은 이미 퇴적한 각 막층의 두께를 검측하는 단계와, 검측된 막층 두께가 표준 두께 범위 내에 있지 않을 경우 질량 부하층이 퇴적되었는가를 판단하고 NO이면 퇴적하지 않은 막층을 선택하여 두께 보상을 수행하고 보상후의 막층 두께와 목표 주파수 편의에 근거하여 상기 목표 주파수 편의를 발생시키는데 필요한 질량 부하층의 두께를 계산하는 단계와, 상기 표준 두께 범위는 상기 공진기의 목표 주파수 및 공정 생산력에 의하여 결정되고, 보상후의 퇴적하지 않은 막층 두께와 다시 산출한 질량 부하층의 두께에 근거하여 후속 박막 퇴적을 수행하는 단계를 포함한다. 본 발명의 제조 방법 및 장치에 의하면 필요한 주파수 편의를 정확하게 발생시켜 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013377
첨부파일

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