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얇은 막들 내부에 마킹하기 위한 레이저 시스템들 및 방법들, 그에 의해 생성된 물품들

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기관명	NDSL
출원인	일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7003189
출원일자	2016-02-04
공개번호	20160428
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	레이저 출력(114)은 기판(102)에 의해 지지되는 막(104)을 포함하는 물품(100)을 마킹하기 위해 채용되고, 여기서 막(104)은 50미크론 이하인 두께(t)를 가진다. 레이저 출력(114)은 물품(100)의 영역 내에 그리고 막(104) 내에 복수의 레이저 유도된 크랙을 포함하는 복수의 구조를 형성하기 위해 막(104) 내로 지향되고 빔 웨이스트(90)의 초점(80)에서의 5미크론 이하의 회절 제한 개구수 스팟 크기(32)로 포커싱되고, 여기서 레이저 유도된 크랙들은 막(104)의 외면(108) 또는 기판(102)으로 연장하지 않고 막(104) 내에서 중단되며, 복수의 구조는 물품(100) 위로 입사 광을 산란시키도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167003189
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