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특허/실용신안

조합된 X­선 및 광학적 계측

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호 10-2016-7003281
출원일자 2016-02-04
공개번호 20160317
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 시편의 구조적 파라미터들은 조합된 분석에서 상이한 측정 기법들에 의해 수집된 측정들에 대해 시편의 응답의 모델들을 피팅함으로써 결정된다.시편의 x-선 측정 데이터는 시편의 광학적 측정들 및 x-선 측정들 양자의 조합된 분석에서 상수로서 취급되는 적어도 하나의 시편 파라미터 값을 결정하기 위하여 분석된다.예를 들어, 특정한 구조적 속성, 또는 시편의 원소 조성과 같은 특정한 재료 속성은 x-선 측정 데이터에 기초하여 결정된다.x-선 측정 데이터로부터 결정된 파라미터(들)는 시편의 광학적 측정들 및 x-선 측정들 양자의 추후의 조합된 분석에서 상수들로서 취급된다.추가의 양태에서, 응답 모델들의 구조는 모델들과 대응하는 측정 데이터 사이의 피트의 품질에 기초하여 변경된다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167003281
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE G01N-023/203,G01B-015/00,G01N-023/22,H01L-021/66
주제어 (키워드)