금속산화막의 제조 방법 및 금속산화막
기관명 | NDSL |
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출원인 | 도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤 |
출원번호 | 10-2016-7021468 |
출원일자 | 2016-08-05 |
공개번호 | 20160825 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명은, 저비용으로 막 특성(저저항)이 좋은 금속산화막을 제작할 수 있는 금속산화막의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그리고, 본 발명에서는, (A) 아연을 포함하는 용액(5)을 미스트화하고, 당해 미스트화한 용액(5)을 비진공하에서 기판(1)에 대해 분무함에 의해, 기판(1)에 금속산화막(10)을 성막하는 공정과, (B) 금속산화막(10)에 대해, 자외선(13)을 조사함에 의해, 금속산화막(10)의 저항을 내리는 공정을 구비하고 있다. 또한, 공정(B)은, (B-1) 금속산화막(10)의 막두께에 응하여, 조사하는 자외선(13)의 파장을 결정하는 공정과, (B-2) 공정(B-1)에서 결정한 파장을 갖는 자외선(13)을 금속산화막(10)에 조사하는 공정을, 갖는다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021468 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | |
주제어 (키워드) |