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프린트 기판의 복합 검사 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	야마하하쓰도키 가부시키가이샤
출원번호	10-2014-7018392
출원일자	2014-07-02
공개번호	20140717
공개일자	2016-05-16
등록번호	10-1621255-0000
등록일자	2016-05-10
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 X선 카메라(50)와 X선 조사 유닛(160) 사이에서 검사 대상부에 임하는 광학 촬상 장치(300)를 구비한 복합 검사 장치에 있어서, 접사 포지션과 비접사 포지션 사이에서 X선 조사 유닛(160)과 X선 카메라(50)를 상대 변위시켜 X선 화상의 배율을 변경하는 배율 변경 수단(155)을 설치한다. 이 배율 변경 수단(155)은 접사 포지션에서는 X선 조사 유닛(160)으로부터 X선 카메라(50)에 도달하는 X선의 도달 경로가 접사용으로 짧아진다. 비접사 포지션에서는 상기 도달 경로가 접사 포지션에서의 거리보다 길어진다. X선 조사 유닛과 X선 카메라 중 적어도 어느 한쪽이 접사 포지션을 향해서 이동할 필요가 있을 경우에는 X선 조사 유닛과 X선 카메라가 상대적으로 접사 포지션을 향해서 이동할 수 있도록 사전에 광학 촬상 장치(300)를 퇴피시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020147018392
첨부파일

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