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화학 기상 증착에 의한 고품질의 대규모 단층 및 다층 그래핀의 제조

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기관명	NDSL
출원인	유티-배텔, 엘엘씨
출원번호	10-2014-7018365
출원일자	2014-07-02
공개번호	20141121
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	연속적인 그래핀 시트를 합성하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다.이 시스템 및 방법은 가열된 화학 기상 증착 챔버를 통해 촉매 기판을 통과시키는 단계와, 기판을 챔버 내부의 미리 선택된 위치에서 탄화수소와 수소를 포함한 반응 가스 혼합물에 노출시키는 단계를 포함한다.반응 가스 혼합물은 약 0 Torr 내지 20 Torr의 분압을 가진 수소와, 약 20 mTorr 내지 약 l0 Torr의 분압을 가진 탄화수소와, 하나 이상의 버퍼 가스를 포함할 수 있다.버퍼 가스는 화학 증착 챔버 내의 대기압을 유지하기 위해 아르곤 또는 다른 비활성 기체를 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147018365
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