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화학 증폭형 감광성 조성물, 감광성 드라이 필름, 도금용 주형 부착 기판의 제조 방법, 및 도금 조형물의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
출원번호	10-2023-7007548
출원일자	2023-03-03
공개번호	20230413
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	막 두께가 두꺼운 패턴화된 레지스트막을 형성하는 경우이어도, 비-레지스트부의 단면 형상이 직사각형이고, 도금액에 대한 내성이 높은 패턴화된 레지스트막을 형성할 수 있는 화학 증폭형 포지티브형 감광성 조성물과, 당해 화학 증폭형 포지티브형 감광성 조성물로 이루어지는 감광성층을 구비하는 감광성 드라이 필름과, 도금용 주형 부착 기판의 제조 방법과, 도금 조형물의 제조 방법을 제공하는 것. 활성 광선 또는 방사선의 조사에 의해 산을 발생하는 산 발생제(A), 및 알칼리에 대한 용해성이 증대하는 수지(B)를 포함하는 포지티브형 화학 증폭형 감광성 조성물에, 전술의 수지(B)로서, 소정의 요건을 만족시키는 가교성의 단량체에 유래하는 구성 단위(bL1)를 소정량 포함하는 아크릴 수지(B1a)를 함유시키고, 아크릴 수지(B1a)로부터 구성 단위(bL1)를 제외한 가상 비가교 아크릴 수지의 유리 전이 온도의 계산치를 90℃ 이상 120℃ 이하로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020237007548
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