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스피닝하는 반사 기판을 분석하기 위한 하드웨어 개선 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2022-7026748
출원일자	2022-08-02
공개번호	20220914
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판의 하나 이상의 특성을 모니터링하기 위한 시스템 및 방법의 실시예들을 개시한다. 기판 상에 분배된 유체의 특성에 관한 데이터를 제공하기 위해 광학 센서(일 실시예에서, 카메라)를 이용하는 다양한 실시예를 설명한다. 센서 데이터의 수집과 분석을 개선하기 위한 다양한 하드웨어 개선 및 방법을 제공한다. 보다 구체적으로, 다양한 하드웨어 관련 기술을 조합하거나 단독으로 이용하여, 광학 센서를 사용하는 데이터 수집을 개선할 수 있다. 이러한 하드웨어 기술은, 광원의 개선, 광학 센서의 개선, 광학 센서에 대한 광원의 물리적 배향의 관계, 분석을 위한 화상의 소정 픽셀의 선택, 및 기판의 회전 속도와 광학 센서의 프레임 속도의 관계를 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020227026748
첨부파일

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