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제한된 시각적 접근성에 의한 웨이퍼 정렬

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기관명	NDSL
출원인	선파워 코포레이션
출원번호	10-2016-7015735
출원일자	2016-06-14
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	제한된 시각적 접근성에 의한 웨이퍼 정렬이 개시되어 있다.일례에서, 태양 전지를 제조하기 위해 기판을 처리하는 방법은 기판을 스테이지 위에 지지시키는 단계를 포함한다.방법은 실질적으로 불투명한 층을 기판 위에 형성하는 단계를 포함한다.실질적으로 불투명한 층은 기판의 에지를 적어도 부분적으로 덮는다.방법은 기판에 대한 실질적으로 불투명한 층의 핏-업을 수행하는 단계를 포함한다.방법은 스테이지를 통해 투과되는 광으로 기판의 덮인 에지를 조명하는 단계, 및 스테이지를 통해 투과되는 광에 기초하여 기판의 덮인 에지의 제1 이미지를 캡처하는 단계를 포함한다.방법은 덮인 에지의 제1 이미지에 기초하여 스테이지에 대한 기판의 제1 위치를 결정하는 단계를 추가로 포함한다.기판은 실질적으로 불투명한 층 아래에서의 기판의 결정된 제1 위치에 기초하여 추가로 처리될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015735
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