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유해가스의 처리장치

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기관명	NDSL
출원인	코어 플라즈마 테크놀로지 아이엔씨
출원번호	10-2015-0102214
출원일자	2015-07-20
공개번호	20151203
공개일자	2015-12-01
등록번호	10-1573361-0000
등록일자	2015-11-25
권리구분	KPTN
초록	본 발명은, 진공펌프에 의해 진공상태로 공정이 수행되는 하나 또는 복수 개의 공정챔버에서 배출되는 유해가스를 처리하는 설비에 있어서, 마이크로웨이브를 생성하는 마이크로웨이브 발생유닛; 상기 마이크로웨이브 발생유닛으로부터 유입되는 마이크로웨이브를 복수 개의 도파로들로 분리하여 공급하는 마이크로웨이브 스플리팅 유닛; 상기 각 도파로를 한정하여, 상기 마이크로웨이브 스플리팅 유닛으로부터 공급되는 마이크로웨이브를 공급하는 마이크로웨이브 전달 유닛들; 및 상기 하나 또는 복수 개의 공정챔버에서 배출되는 유해가스가 유동하는 하나 또는 복수 개의 배관에 복수 개가 설치되며, 각각 대응되는 상기 마이크로웨이브 전달 유닛으로부터 마이크로웨이브를 공급받아, 내부에서 플라즈마 방전을 발생하여 상기 유해가스 내의 유해물질을 분해하는 플라즈마 방전 유닛들을 포함하는 유해가스 처리설비를 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150102214
첨부파일

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