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묘화 데이터 검증 방법 및 멀티 하전 입자빔 묘화 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
출원번호	10-2015-0145204
출원일자	2015-10-19
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	일 실시 형태에 따른 묘화 데이터 검증 방법은, 설계 데이터에 기초하는 벡터 형식의 제1 묘화 데이터로부터 픽셀 형식의 제2 묘화 데이터로의 데이터 변환에 수반하는 변환 에러를 검증하는 묘화 데이터 검증 방법으로서, 상기 제2 묘화 데이터를 벡터 형식의 제3 묘화 데이터로 변환하고, 상기 제1 묘화 데이터와 상기 제3 묘화 데이터로 배타적 논리합 연산을 행하고, 상기 제1 묘화 데이터의 도형을 확대하여, 확대 도형과 이 제1 묘화 데이터의 도형의 차분으로부터 허용 오차 영역 도형을 작성하고, 상기 배타적 논리합 연산에 의해 발생한 도형을 상기 허용 오차 영역 도형으로 마스크 처리하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150145204
첨부파일

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