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검사 방법과 장치 및 리소그래피 장치

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7018716
출원일자	2016-07-12
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	검사 방법과 장치 및 관련 리소그래피 장치가 개시된다.검사 방법은, 복수의 층을 포함하는 구조체(예컨대, 3D 메모리 구조체)를 적어도 하나의 선택된 파장의 검사 방사선으로 조명하는 단계를 포함한다.결과적인 회절 신호가 검출되고회절 신호로부터 층의 서브세트의 물리적 특성이 결정된다.물리적 특성이 결정되는 부분 세트의 층은 검사 방사선의 선택된 파장에 의존한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018716
첨부파일

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