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특허/실용신안

직접 가열 기능을 갖는 반도체 디스플레이 제조 장비용 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 주식회사 엠아이
출원번호 10-2016-0098139
출원일자 2016-08-01
공개번호 20160825
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 진공 펌프와 스크러버 사이에 위치된 중공의 배기 파이프에 제공되어 파우더의 증착을 억제하기 위한 반도체 디스플레이 제조 장비용 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브가 개시된다. 삼방향 밸브는 내부에 작동공간이 형성되는 메인 바디부, 그 메인 바디부의 양측 길이 방향으로 각각 분리 가능하게 결합되는 제1,2 밸브플랜지, 그 제1,2 밸브플랜지에 대하여 직각 방향으로 돌출되도록 제공되는 제3 밸브플랜지, 그 제1,2,3 밸브플랜지의 내부에 제1,2,3 유로가 연이어 관통 형성되되, 그 제1,2,3 유로는 내경이 동일한 사이즈로 형성되는 밸브 몸체를 포함한다. 개폐볼은 메인 바디부의 작동공간에 회동 가능하게 제공되며, 내부에 관통공이형성되되, 그 관통공은 제1,2,3 유로의 내경과 동일한 사이즈로 형성된다. 구동부재는메인 바디부에 분리 가능하게 설치되며, 상기 개폐볼에 선단이 고정되어 회동 작동되도록 회동핀이 구비된다. 히팅부재는 밸브 몸체의 메인 바디부, 제1,2,3 밸브플랜지 중 적어도 하나의 외주면에 감겨져 제공된다. 안전커버는 히팅부재를 외부로 감싸도록 밸브 몸체에 분리 가능하게 제공된다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160098139
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE H01L-021/02,H01L-021/324,H01L-021/67
주제어 (키워드)