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펠리클 프레임, 펠리클, 펠리클의 제조 방법 및 펠리클 프레임의 평가 방법

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기관명	NDSL
출원인	미쯔이가가꾸가부시끼가이샤
출원번호	10-2024-7008345
출원일자	2024-03-12
공개번호	20240328
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	펠리클 프레임은, 포토마스크에 점착 가능한 점착층이 마련되는 한쪽의 단부면과 펠리클막을 지지하는 다른 쪽의 단부면을 갖는다.펠리클 프레임은, 직사각 형상의 펠리클 프레임(단, 석영 유리를 포함하는 펠리클 프레임은 제외함)이다.상기 한쪽의 단부면의 비틀림량 Δd가 10㎛ 이하이다.상기 한쪽의 단부면의 비틀림량 Δd는, 상기 한쪽의 단부면의 4 코너의 4 지점 중 3 지점을 통과하는 가상 평면과 나머지 1 지점과의 거리의 최댓값을 나타낸다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020247008345
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