| 기업공감원스톱서비스

중량 밸러스트를 갖는 전방 개방 웨이퍼 컨테이너

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	엔테그리스, 아이엔씨.
출원번호	10-2016-7000897
출원일자	2016-01-13
공개번호	20160226
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	표준화된 전방 개방 웨이퍼 컨테이너의 중력 중심을 조정하기 위한 밸러스트 시스템을 제공하는 장치 및 방법.본 개시물의 다양한 실시형태는 작은 외형을 갖고, 웨이퍼 컨테이너의 외피에 대한 변형을 필요로 하지 않으며, 기존의 웨이퍼 캐리어에 개장될 수 있는 밸러스트 시스템을 나타낸다.일부 실시형태에서, 이러한 능력은 웨이퍼 컨테이너의 운동학적 커플링 플레이트에 장착되는 밸러스트에 의해 달성된다.일 실시형태에서, 밸러스팅은 또한 웨이퍼 컨테이너의 퍼징과 연관된 리프팅력에 대한 충분한 상쇄력을 제공할 수 있고, 이에 의해 퍼징 동작 동안 웨이퍼 컨테이너의 '리프트 오프'를 방지한다.밸러스트는 웨이퍼 컨테이너의 수송을 위해 제거될 수 있고, 이에 의해 수송 비용을 감소시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167000897
첨부파일

기업조회