- HOME
- 홈페이지 이용안내
특허/실용신안
사파이어 웨이퍼의 검사 및 분류를 위한 시스템
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | (주)신안엔지니어링 |
| 출원번호 | 10-2018-0049894 |
| 출원일자 | 2018-04-30 |
| 공개번호 | 20180517 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명은 사파이어 웨이퍼의 검사 및 분류를 위한 시스템에 관한 것이고, 구체적으로 다수 개의 사파이어 웨이퍼를 자동 공정을 통하여 연속적으로 검사하여 불량 여부를 판정하여 분류가 가능하도록 하는 사파이어 웨이퍼의 검사 및 분류를 위한 시스템에 관한 것이다. 시스템은 제어 모듈(100); 제어 모듈(100)과 연결된 제1 서브 제어 모듈(200) 및 제2 서브 제어 모듈(300); 제1 서브 모듈(200)과 연결되어 사파이어 웨이퍼의 후면 검사 결과를 전송하는 후면 검사 모듈(400); 제2 서브 모듈(300)과 연결되어 사파이어 웨이퍼의 전면 검사 결과를 전송하는 전면 검사 모듈(500); 및 다수 개의 사파이어 웨이퍼가 검사대기 상태로 저장되어 순차적으로 후면 검사 모듈(400) 또는 전면 검사 모듈(500)로 전달되도록 하는 카트리지 모듈(600)을 포함하고, 상기 후면 검사 모듈(400)은 조명 장치와 광학 스캔 카메라에 의하여 사파이어 웨이퍼의 후면 영상을 얻어 제1 서브 모듈(200)로 전송하고 그리고 상기 전면 검사 모듈(500)은 레이저 장치 및 광학 스캔 카메라에 의하여 사파이어 웨이퍼의 전면 영상을 얻어 제2 서브 모듈(30)로 전송한다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020180049894 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | H01L-021/66,G01N-021/88 |
| 주제어 (키워드) |