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샷 데이터 생성 방법 및 멀티 하전 입자 빔 묘화 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
출원번호	10-2015-0049487
출원일자	2015-04-08
공개번호	20151022
공개일자	2016-05-23
등록번호	10-1623559-0000
등록일자	2016-05-17
권리구분	KPTN
초록	본 발명의 일태양의 샷 데이터 생성 방법은, 멀티 하전 입자 빔을 이용하여 시료에 패턴을 묘화하기 위한 묘화 데이터를 입력하고, 묘화 데이터를 변환하여, 사전에 설정된 제1 조사 시간을 나타내는 제1 코드와, 조사 시간이 0인 것을 나타내는 제2 코드와, 제1 조사 시간이 아니며, 또한 조사 시간이 0도 아닌 것을 나타내는 제3 코드 중 어느 하나를 이용하여 멀티 하전 입자 빔의 각 빔용의 샷 데이터를 생성하는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150049487
첨부파일

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