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다중 패턴화 파라미터의 측정

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7020139
출원일자	2016-07-22
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	다중 패턴화 프로세스의 성과를 평가하기 위한 방법 및 시스템이 제시된다. 패턴화된 구조체가 측정되고 다중 패턴화 프로세스에 의해 야기되는 기하학적 에러의 특성을 묘사하는 하나 이상의 파라미터 값이 결정된다. 몇몇 예에서, 단일의 패턴화된 타겟 및 다중 패턴화된 타겟이 측정되고, 수집된 데이터는 결합 측정 모델에 피팅되고, 다중 패턴화 프로세스에 의해 야기되는 기하학적 에러를 나타내는 구조 파라미터의 값은 피팅에 기초하여 결정된다. 몇몇 다른 양태에서, 다중 패턴화 프로세스에 의해 야기되는 기하학적 에러를 나타내는 구조 파라미터의 값을 결정하기 위해, 제로와는 상이한 회절 차수를 갖는 광이 수집 및 분석된다. 몇몇 실시형태에서, 제로와는 상이한 단일의 회절 차수가 수집된다. 몇몇 예에서, 계측 타겟은 제로와는 상이한 차수에서 회절되는 광을 향상시키도록 설계된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020139
첨부파일

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