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성막 장치 및 성막 방법

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기관명	NDSL
출원인	미쯔이 죠센 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7023028
출원일자	2015-08-25
공개번호	20151008
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	성막의 효율이 좋고 간단한 구성의 성막 장치는, 기판의 반송 기구, 플라즈마 생성 전극, 공간 격벽, 인젝터를 가진다. 플라즈마 생성 전극은, 상기 기판의 반송 경로를 향하도록 설치되고, 급전(給電)에 의해 반응성 가스를 사용하여 플라즈마를 생성한다. 공간 격벽은, 상기 반송 경로와 상기 플라즈마 생성 전극과의 사이에 설치된다. 이 공간 격벽에는, 상기 플라즈마의 일부 또는 상기 플라즈마로부터 생성되는 래디컬 또는 이온이 통과하는 슬릿형의 관통 구멍이 간극을 두고 복수개 설치된다. 인젝터는, 상기 공간 격벽과 상기 반송 경로와의 사이에서, 상기 관통 구멍 중 인접하는 관통 구멍에 의해 상기 반송 방향의 양측으로부터 협지되도록 설치되어, 상기 성막용 가스를 성막용 가스 공급구로부터 상기 기판을 향해 공급한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157023028
첨부파일

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