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광학 결상 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
출원번호	10-2016-0035044
출원일자	2016-03-24
공개번호	20160414
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	적어도 하나의 광학 요소(109)와 상기 광학 요소(109)에 연관된 적어도 하나의 유지 장치(104)를 포함하고, 상기 유지 장치(104)는 상기 광학 요소(109)를 유지하고, 상기 광학 요소(109)의 제1 부분(109.1)은 제1 주위 기체(atmosphere)에 접촉하고 상기 광학 요소(109)의 제2 부분(109.2)은 적어도 일시적으로 제2 주위 기체에 접촉하는, 특히 마이크로리소그래피를 위한 광학 결상 장치가 제공된다. 상기 제1 주위 기체와 제2 주위 기체 사이의 압력차의 변동을 적어도 감소시키는 감소 장치(115)가 제공된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160035044
첨부파일

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