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반도체 에피택시 성장을 위한 주입기

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2018-7001136
출원일자	2018-01-12
공개번호	20180125
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	처리 챔버는 함께 결합되어 인클로저를 정의하는 최상부, 최하부, 및 측벽; 기판 지지 표면을 갖는 기판 지지체; 최상부 또는 최하부에 결합된 에너지 소스; 및 측벽에 배치되는 가스 주입기 라이너를 구비한다.가스 주입기 라이너는 제1 높이에 배치된 제1의 복수의 가스 유출구 - 제1의 복수의 가스 유출구 중 하나 이상의 가스 유출구는 상향 또는 하향 배향됨 - ; 제1 높이보다 짧은 제2 높이에 배치된 제2의 복수의 가스 유출구 - 제2의 복수의 가스 유출구 중 하나 이상의 가스 유출구는 상향 또는 하향 배향됨 - ; 및 제2 높이보다 짧은 제3 높이에 배치된 제3의 복수의 가스 유출구 - 제3의 복수의 가스 유출구 중 하나 이상의 가스 유출구는 기판 지지 표면에 대해 상향 또는 하향 배향됨 - 를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187001136
첨부파일

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