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기판 처리 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 제이.이.티.
출원번호	10-2018-7001433
출원일자	2018-01-16
공개번호	20180222
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	처리액을 저류하고, 소정의 간격으로 배치된 복수매의 기판(24)을 처리하는 처리조(12)와, 상기 복수매의 기판(12)의 두께 방향으로 상기 처리액이 유통하는 유로(14a)와, 상기 유로를 따라서 형성된 복수의 개구(15)와, 상기 유로(14a)의 선단을 폐쇄하는 선단면(16 1 , 16 2 )을 갖는 제1 및 제2 토출부(14b 1 , 14b 2 )와, 상기 제1 토출부(14b 1 ) 및 상기 제2 토출부(14b 2 )의 기단(14b s , 14b e )에 상기 처리액을 공급하고, 급액구(20)를 갖는 공급로(18)를 구비하고, 상기 급액구(20)로부터 상기 제2 토출부(14b 2 )의 상기 선단면(16 2 )까지의 길이는, 상기 급액구(20)로부터 상기 제1 토출부(14b 1 )의 상기 선단면(16 1 )까지의 길이와 실질적으로 동등한 것을 특징으로 하는, 기판간에서의 균일성이 보다 높은 처리를 행할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187001433
첨부파일

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