로드락 챔버 및 이를 포함하는 화학 기상 증착장치
기관명 | NDSL |
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출원인 | 삼성디스플레이 주식회사 |
출원번호 | 10-2013-0029913 |
출원일자 | 2013-03-20 |
공개번호 | 20141002 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버는, 기판을 수용하며, 내부 압력이 대기압과 진공 상태로 반복 설정되는 로드락 챔버로서, 상기 기판이 출입되는 적어도 하나의 개구부가 마련된 챔버 바디; 상기 적어도 하나의 개구부를 개폐하는 적어도 하나의 도어부; 상기 챔버 바디의 내부 압력을 조절하는 압력 조절부; 및 상기 챔버 바디의 내부에 설치되어, 상기 챔버 바디의 내부에 존재하는 금속 파티클을 자기력(magnetic force)을 이용하여 흡착하는 흡착부;를 포함할 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130029913 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-021/67,H01L-021/677,H01L-021/205 |
주제어 (키워드) |