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듀얼 패스 스캐닝

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
출원번호	10-2016-7017461
출원일자	2016-06-29
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	복수의 하전 입자 빔렛들을 사용하여 웨이퍼를 노출하기 위한 방법. 방법은 빔렛들 사이에서 비-기능 빔렛들을 식별하는 단계, 웨이퍼의 제 1 부분을 노출하기 위해 빔렛들의 제 1 서브세트를 할당하는 단계 - 제 1 서브세트는 식별된 비-기능 빔렛들을 제외함-, 빔렛들의 제 1 서브세트를 사용하는 웨이퍼의 제 1 부분을 노출하기 위한 제 1 스캔을 수행하는 단계, 웨이퍼의 제 2 부분을 노출하기 위한 빔렛들의 제 2 서브세트를 할당하는 단계 - 제 2 서브세트는 또한 식별된 비-기능 빔렛들을 제외함-, 및 빔렛들의 제 2 서브세트를 사용하여 웨이퍼의 제 2 부분을 노출하기 위한 제 2 스캔을 수행하는 단계를 포함하고, 웨이퍼의 제 1 및 제 2 부분들은 겹치지 않고, 함께 노출될 웨이퍼의 완전한 영역을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017461
첨부파일

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