| 초록 |
본 발명은 고압 유체와 접촉시켜 기판에 부착된 액체를 제거하는 처리를 실시하는 과정에서, 기판에 파티클이 부착되기 어려운 기판 처리 장치 등을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 기판 처리 장치에서는, 기판(W) 표면의 건조 방지용 액체를 제거하는 처리가 행해지는 처리 용기(31) 안에 고압 유체를 공급할 때, 유체 공급로(351)에 설치된 차단부를 개방하고, 유량 조정부(354)에 의해 유량을 조정한 상태로 개폐 밸브(352)를 개방하여 처리 용기(31)에 고압 유체를 도입하고[또는 원료 유체를 처리 용기(31) 안에서 고압 유체로 변화시켜], 기판(W) 표면으로부터 건조 방지용 액체를 제거하는 단계와, 이어서 상기 차단부를 차단 상태로 하는 한편, 개폐 밸브(352)와 감압 밸브(342)를 개방하고, 처리 용기(31)에 접속된 배출로(341)를 통해 유체 공급로(351)와 처리 용기(31)를 함께 감압하는 단계와, 그 후 상기 기판(W)을 그 처리 용기(31)로부터 반출하는 단계를 실행하도록 제어 신호를 출력한다. |
