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배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트

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기관명	NDSL
출원인	우범제
출원번호	10-2014-0072281
출원일자	2014-06-13
공개번호	20151231
공개일자	2016-04-05
등록번호	10-1608831-0000
등록일자	2016-03-29
권리구분	KPTN
초록	본 발명에 따른 로드 포트는 배출 구조를 개선하여 웨이퍼 수납용기 내에 남아있는 잔존가스를 배기하는 퍼지 동작을 효율적으로 수행할 수 있다. 본 발명에 따른 로드 포트는 웨이퍼 수납용기에 연결된 배출 유로의 중도에 설치되고 잔존가스의 배기 속도를 증대하기 위하여 회오리 기류를 형성하는 기류 형성부재와 압축 공기를 주입하기 위한 공기 유입구를 설치한 배출 가속기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140072281
첨부파일

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