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노광 장치 및 조명 유닛

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기관명	NDSL
출원인	브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
출원번호	10-2015-7027501
출원일자	2015-10-05
공개번호	20160311
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 마스크 상의 패턴을 마이크로 렌즈 어레이로 기판 상에 결상하는 것에 의해 기판을 노광하는 노광 장치 등에 관한 것으로서, 노광광을 출사하는 조명 유닛을 소형화한다. 마이크로 렌즈 어레이(30)가 이동 방향 A에 교차하는 방향으로의 배열을 포함하여 이차원적으로 배치된 복수의 마이크로 렌즈(31)를 가지고, 조명 유닛이 복수의 레이저 다이오드가 배열된 LD 어레이 바와, 그 LD 어레이 바를 구성하는 복수의 레이저 다이오드로부터 출사한 복수의 발광광을, 이동 방향 A에 교차하는 방향에 대해서는 그 방향으로 늘어서는 마이크로 렌즈(31)의 복수개에 걸쳐 확장시킴과 아울러, 이동 방향 A에 대해서는 그 이동 방향으로 인접하는 열에 늘어서는 마이크로 렌즈(31)에 미지치 않는 넓이로 제한된 슬릿 형상의 노광 광속으로 변환하고, 그 노광 광속에 의한 노광광(170)으로 일렬로 늘어서는 복수의 마이크로 렌즈(31) 상을 조명하는 조명 광학계를 가진다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157027501
첨부파일

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