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검사 장치 및 검사용 화상 데이터의 생성 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
출원번호	10-2014-0102428
출원일자	2014-08-08
공개번호	20150226
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	검사 장치는, 하전입자 또는 전자파를 빔으로서 조사하는 1차 광학계와, 검사 대상을 빔의 조사 위치 상을 소정의 방향으로 이동시키는 이동부와, 이동부를 소정의 방향으로 이동시키면서 행해지는 빔의 검사 대상에의 조사에 의해서 얻어지는 2차 하전입자 또는 2차 전자파의 양을 소정의 방향을 따라 전송 클럭의 입력 타이밍에 적산하여 순차적으로 전송하는 TDI 센서와, 이동부의 위치를 검출하는 위치 검출부와, 검사 대상의 실위치와 목표 위치와의 차분에 의거하여, TDI 센서를 향하는 2차 전하입자 또는 2차 전자파를, 차분을 상쇄하는 방향으로 편향시키는 편향부를 구비한다.목표 위치는, 하나의 전송 클럭의 입력부터 다음의 전송 클럭의 입력까지의 기간 이하의 소정의 시간만큼 목표 위치가 동일한 위치에 유지된 후에 소정 거리만큼 상승하는 계단 형상으로 설정된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140102428
첨부파일

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