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CVD 전구체

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기관명	NDSL
출원인	다우 코닝 코포레이션
출원번호	10-2016-7005023
출원일자	2016-02-25
공개번호	20160317
공개일자	2016-07-13
등록번호	10-1639432-0000
등록일자	2016-07-07
권리구분	KPTN
초록	비스아미노실라시클로부탄, 및 질소 공급 가스, 산소 공급 가스 및 이들의 혼합물로부터 선택된 공급 가스를 포함하는 반응성 가스 혼합물의 열 중합에 의해 규소 함유 박막을 생성시키는 방법이 기술된다.증착된 막은, 질화규소, 실리콘 카보니트라이드, 이산화규소 또는 탄소 도핑된 이산화규소일 수 있다.이들 막은 반도체 장치에서 유전체, 패시베이션 코팅, 배리어 코팅, 스페이서, 라이너 및/또는 스트레서(stressor)로 유용하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020167005023
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