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자가-정렬 듀얼 트렌치 소자

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기관명	NDSL
출원인	다이오드 인코포레이티드
출원번호	10-2019-7020310
출원일자	2019-07-11
공개번호	20190725
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	전력 MOSFET 또는 전력 정류기는 본 발명에 따라 게이트 트렌치 및 필드 플레이트 트렌치를 포함하도록 제조될 수 있다. 두 트렌치들 모두는 명세서에서 상세히 서술되는 두 단계 식각 공정을 통해 형성될 수 있다. 본 발명을 구현하는 소자들은 더 높은 패키지 밀도, 그리고 더 양호하고 더 엄격하게 분포된 V R , R DSS 및 BV와 같은 소자 매개 변수들로 제조될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197020310
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