| 초록 |
본 발명은 광학 시험 시편의 모아레 측정을 위한 디바이스에 관한 것으로, 시험 시편의 상류측에서 광빔 경로 내에 위치가능한 제1 격자(25, 25', 35, 35') 및 시험 시편의 하류측에서 광빔 경로 내에 위치가능한 제2 격자(11, 11', 11', 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111, 121, 131, 141)로 구성된 격자 배열체; 광빔 경로 내에서 제2 격자의 하류측에 위치된 검출 평면 내의 2개의 격자의 중첩에 의해 생성된 모아레 구조를 평가하기 위한 적어도 하나의 검출기(12, 12', 12', 22, 22', 32, 32', 42, 52, 62, 72, 82, 92, 102, 112, 122, 132, 142)를 갖는 평가 유닛; 및 제2 격자로부터 광 출사 후에 생성되었던 광 분포가 이에 의해 영역적으로 음영화될 수 있어 제2 격자 상의 모든 필드점의 서브세트의 광만이 검출 평면에 도달하게 하는 적어도 하나의 구경 조리개(14, 14', 14', 24, 24', 34, 34')를 포함한다. |
