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조명 광학계

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7019287
출원일자	2016-07-15
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명에 따르면, 파장판으로서 기능하는 광학 부재의 제조 오차의 영향을 실질적으로 받지 않고, 소망하는 편광 상태의 광으로 피조사면을 조명하는 조명 광학 장치, 또한, 광원(1)으로부터의 광에 근거하여 피조사면(M, W)을 조명하는 조명 광학 장치를 제공한다. 본 발명의 장치는, 조명 동공면 또는 그 근방에 배치되어, 입사광의 편광 상태를 소정의 편광 상태로 변환하기 위한 편광 변환 소자(12)를 구비하고 있다.편광 변환 소자는, 입사하는 직선 편광에 선광 각도를 가변적으로 부여하기 위한 복수의 가변 선광 부재를 갖는다.각 가변 선광 부재는, 선광성을 갖는 광학 재료에 의해 형성되고 광축(AX)과 교차하는 방향을 따라 상대적으로 이동 가능한 2개의 편각 프리즘을 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019287
첨부파일

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