| 초록 |
본 발명은 진공챔버의 진공압력 조절을 위한 밸브에 있어서, 유체통로(6)를 형성하는 몸체(2)와, 상기 몸체(2)의 양측에 위치하여 볼트체결에 의해 몸체(2)와 결합되어 진공장치와 체결되는 플랜지(8)(10)(12)와, 몸체(2)에 형성된 유체통로(6)의 외경을 따라 빙둘러 형성하여 공기의 누설을 차단하는 실링플랜지(14)와, 직선방향으로 이동하면서 유체통로(6)를 단계적으로 개폐하여 진공챔버(102)의 진공압력을 조절하는 개폐작동부(16)와, 개폐작동부(16)의 직선운동을 위한 작동공간을 형성하는 커버플레이트(20)로 구성하여, 진공압력을 조절하기 위한 밸브의 기계구성을 단순화 및 소형화하여 원가절감과 유지보수 비용 절감 및 진공압력 조절을 위한 시간을 단축할 수 있는 효과가 있으며, 서보모터(18)의 작동에 의해 유체통로(6)를 단계적으로 개폐함에 따라 진공챔버(102)의 진공압력 설정을 자동으로 조절함과 함께 정밀한 제어가 가능하며, 작업자의 필요에 따라 진공압력을 설정하는 것이 용이하다. |
