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검사, 시험, 디버그 및 표면 개질을 위한 전자빔 유도성 플라스마 프로브의 적용

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7010496
출원일자	2016-04-21
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	전자빔 유도성 플라스마가 사용되어 관심 소자로의 비기계적, 전기적 접촉을 확립할 수 있다. 이 플라스마 소스가 대기압 플라스마 소스라고 지칭될 수 있으며 매우 미세한 지름 및 제어 가능한 특성의 플라스마 기둥을 제공하도록 구성될 수 있다. 플라스마 기둥은 대기로의 플라스마 소스와 관심 소자 사이의 대기압 공간을 횡단하여 특성 전기 신호가 소자로부터 수집될 수 있는 방식으로 관심 소자로의 전기적 경로로서 기능한다. 덧붙여, 플라스마 기둥으로 흐르는 기체를 제어함으로써, 프로브가 표면 개질, 에칭 및 증착을 위해 사용될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167010496
첨부파일

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